制振・免震 高剛性架台（嫌振床） 日本防振株式会社

◎ 高剛性架台(嫌振床・嫌振架台) クリーンルーム対応

モジュール定盤・高剛性パネル等(装置サイズ・グレーティング高さに合わせた設計)
搭載される精密機器(露光機、検査装置、修正機等)の要求する稼働環境を確保

1. 必要な剛性を確保する
2. 床振動の増幅を抑止する
3. Foot-Pointの水平レベルを保持する

高剛性架台	施工風景

製品写真は特許機器株式会社様の許可を頂き掲載しております。