磁場キャンセラ

電子線応用装置を磁場変動から守ります

磁場変動を高感度磁場センサ及びデジタルコントローラで検出し、ヘルムホルツコイルを用いて逆位相の磁場を発生させることで磁場変動を抑制するシステムです。

◯用途： SEM、TEM、FIB、EBL、MASS、マスク検査装置、測長SEMなど

・シールドによる磁場対策に比べ約1／10のコスト削減を実現
・装置周辺にコイルを固定するだけの簡単施工
・最大40dB～60dBの優れた減衰性能