高剛性架台
◎ 高剛性架台(嫌振床・嫌振架台) クリーンルーム対応
モジュール定盤・高剛性パネル等(装置サイズ・グレーティング高さに合わせた設計)
搭載される精密機器(露光機、検査装置、修正機等)の要求する稼働環境を確保
・必要な剛性を確保する
・床振動の増幅を抑止する
・Foot-Pointの水平レベルを保持する
製品のご紹介
高剛性架台
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